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0536-2294520電子行業(yè)的半導(dǎo)體芯片、液晶面板生產(chǎn)，對潔凈車間的濕度（露點(diǎn)）要求極-高 —— 低露點(diǎn)環(huán)境可防止芯片受潮氧化，避免電路短路。冷鏡式露點(diǎn)儀憑借超高精度與實(shí)時(shí)監(jiān)測能力，成為電子行業(yè)守護(hù)生產(chǎn)環(huán)境的 “潔凈保障"。
在半導(dǎo)體晶圓制造的光刻環(huán)節(jié)，潔凈室露點(diǎn)需控制在 - 70℃Td 以下（極-高潔凈度等級），儀器采用超高精度制冷系統(tǒng)（控溫精度 ±0.05℃），搭配激光凝露檢測技術(shù)，可精準(zhǔn)捕捉極低露點(diǎn)下的微量水分，測量范圍覆蓋 - 80~+5℃Td，分辨率達(dá) 0.001℃Td，滿足 SEMI F21-0706《半導(dǎo)體制造環(huán)境濕度測量指南》要求。針對液晶面板生產(chǎn)的無塵車間，儀器支持多點(diǎn)組網(wǎng)監(jiān)測（最多可連接 32 個(gè)檢測點(diǎn)），實(shí)時(shí)監(jiān)控不同生產(chǎn)區(qū)域的露點(diǎn)差異，避免因局部濕度偏高導(dǎo)致的面板不良率上升。
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