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電子行業(yè)潔凈保障，冷鏡式露點儀守護半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境

更新時間：2025-09-01   點擊次數(shù)：223次

電子行業(yè)的半導(dǎo)體芯片、液晶面板生產(chǎn)，對潔凈車間的濕度（露點）要求極-高 —— 低露點環(huán)境可防止芯片受潮氧化，避免電路短路。冷鏡式露點儀憑借超高精度與實時監(jiān)測能力，成為電子行業(yè)守護生產(chǎn)環(huán)境的 “潔凈保障"。

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在半導(dǎo)體晶圓制造的光刻環(huán)節(jié)，潔凈室露點需控制在 - 70℃Td 以下（極-高潔凈度等級），儀器采用超高精度制冷系統(tǒng)（控溫精度 ±0.05℃），搭配激光凝露檢測技術(shù)，可精準(zhǔn)捕捉極低露點下的微量水分，測量范圍覆蓋 - 80~+5℃Td，分辨率達(dá) 0.001℃Td，滿足 SEMI F21-0706《半導(dǎo)體制造環(huán)境濕度測量指南》要求。針對液晶面板生產(chǎn)的無塵車間，儀器支持多點組網(wǎng)監(jiān)測（最多可連接 32 個檢測點），實時監(jiān)控不同生產(chǎn)區(qū)域的露點差異，避免因局部濕度偏高導(dǎo)致的面板不良率上升。

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儀器外殼采用防靜電材質(zhì)，符合電子行業(yè) ESD 防護要求，可避免靜電干擾芯片生產(chǎn)。數(shù)據(jù)支持與電子廠 MES 系統(tǒng)聯(lián)動，當(dāng)露點超出閾值時，立即觸發(fā)車間新風(fēng)系統(tǒng)調(diào)整，響應(yīng)時間≤10s，確保潔凈室露點穩(wěn)定。應(yīng)用后，半導(dǎo)體芯片的不良率可降低至 0.1% 以下，為電子企業(yè)減少巨額損失。